近日,牧風科技成功交付與國內某著名高校合作開發的光刻機部件產品。
接到項目任務伊始,牧風迅速組織科研力量進行設計研討、工藝路線評審等基礎準備工作。很短的時間內便完成了承片臺空氣軸承的設計、生產。通過與需求單位的共同總裝調試,設備總體精度(1μm)滿足性能指標要求。
本套光刻機的成功交付,證明了牧風科技的實力。同時,增強了牧風科技在精加工/超精加工、空氣軸承及其解決方案等相關領域大踏步昂首向前的信心。