平面超精加工是超精加工的一種，一般通過精密磨床磨削、研磨機研磨或者手工研磨的方法加工。這三種方法各有精度與效率各有不同，通常情況下這三種方法配合使用，可以達到較高的精度。平面超精密加工在精密制造業中占有廣闊的地位，如光學鏡片、硬盤盤片、量規等等。

研磨是平面超精密加工中的重要方法。通過配置研磨壓力、磨料尺度、磨盤硬度等參數，提高加工效率與加工質量。

“牧風”掌握平面超精密加工中的核心加工工藝，可以很容易的將Φ300mm直徑的平板的平面度加工到小于1μm平面度。